я для этого использую не 3DAnalyst, а Geostatistical Analyst. Там в диалоге IDW вторым шагом является кросс-валидация - т.е. перекрестная проверка проинтерполированных значений относительно измеренных.. как результат проверки - среднеквадратическая ошибка для каждой точки...